토양정밀조사는 기초조사, 개황조사, 상세조사의 3단계로 구성되며, 기초조사는 부지 이력 및 사용현황 등에 관한 자료조사, 방문조사 및 청취조사를 통해 오염개연성 여부를 문서적으로 판단하는 과정이고, 개황조사는 전체 부지에 대해 개략적으로 오염현황을 판단하기 위한 조사로써 시료채취와 분석을 실시합니다. 

상세조사는 개황조사 결과를 토대로 오염면적, 심도 등을 확인한 뒤 최종적으로 오염량을 산출, 확정하는 조사로써 이 조사들을 모두 합쳐서 정밀조사라고 부릅니다.